Kriopumpa je vakuumska pumpa koja koristi površinu niske temperature za kondenzaciju plina, također poznata kao kondenzatna pumpa. Kriopumpa može postići čisti vakuum s najvećom brzinom crpljenja i najnižim krajnjim tlakom, a naširoko se koristi u istraživanju i proizvodnji poluvodiča i integriranih krugova, kao i u istraživanju molekularnih zraka, opremi za vakuumsko prevlačenje, instrumentima za analizu površine vakuuma, ionima implantati i simulacija prostora. uređaji itd.
Princip crpljenja Kriopumpa je opremljena hladnom pločom koja se hladi na vrlo nisku temperaturu tekućim helijem ili hladnjakom. Kondenzira plin i održava tlak pare kondenzata ispod krajnjeg tlaka pumpe, kako bi se postigao učinak pumpanja. Glavne funkcije niskotemperaturnog crpljenja su niskotemperaturna kondenzacija, niskotemperaturna adsorpcija i hvatanje niske temperature.
kriopumpa
① Niskotemperaturna kondenzacija: molekule plina kondenziraju se na površini hladne ploče ili na sloju kondenziranog plina, a ravnotežni tlak je u osnovi jednak tlaku pare kondenzata. Prilikom pumpanja vodika temperatura hladne ploče je niža.
②Adsorpcija na niskim temperaturama: Molekule plina se adsorbiraju na površini adsorbenta obložene na hladnoj ploči s debljinom od jednog molekularnog sloja. Ravnotežni tlak za adsorpciju je mnogo niži od tlaka pare na istoj temperaturi.
③Kriogeno zarobljavanje: Molekule plina koje se ne mogu kondenzirati na temperaturi ekstrakcije su zakopane i adsorbirane rastućim slojem kondenziranog plina.